《集成电路制造工艺》是由刘新、彭勇、蒲大雁等具有企业工程经验的教师团队编写，2015年机械工业出版社出版的高等职业教育微电子技术专业教材 。全书以双极型晶体管生产工艺流程为主线，采用项目化教学模式编排，涵盖氧化、扩散、光刻、刻蚀、金属化五大核心工艺及化学气相沉积、离子注入等先进技术 。
教材共设14章及附录，每章配套生产实训模块与设备操作说明，通过氧化炉操作等实践环节强化技能培养，形成理论与实践结合的教学体系 。书中整合了半导体材料制备、污染控制等基础内容，并提供配套电子课件、习题答案等数字化资源，适配高职院校教学与企业工艺工程师岗位培训需求 。
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