电子探针仪，全称电子探针X射线显微分析仪（EPMA），是一种利用聚焦高能电子束轰击固体样品表面，通过探测激发的特征X射线等信号，对样品微区（微米至纳米尺度）进行化学成分定性与定量分析，并能观察其形貌的大型精密分析仪器。其核心特点是具备高空间分辨率和高分析精度，可分析元素范围通常涵盖从铍（Be）到铀（U）。该仪器广泛应用于材料科学、地质矿物学、冶金、半导体以及考古鉴定等多个领域，是进行微区成分与结构表征的关键设备。
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电子探针仪
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