直式油扩散泵是一种利用油蒸气扩散原理实现高真空抽气的装置，需与机械真空泵配合使用，主要应用于电子工业、材料提纯、真空蒸馏等领域。其结构由玻璃泵体、伞形喷咀、水冷挡板等组成，分为三级式和四级式两种类型。
该泵通过加热泵内真空硅油产生蒸气，蒸气经喷咀高速喷出后带动气体分子向下运动，冷却后回流循环，气体分子被机械泵抽离。使用时需控制油量至特定高度，并通过调压变压器分阶段加热以避免炸裂，同时需持续通冷却水。操作中严禁以汞代油，清洗后需彻底抽尽有机溶剂残留，并确保检漏及防震措施，防止真空度下降或设备损坏。
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